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现货ENTEGRIS英特格WG3D40DR2

  • 现货ENTEGRIS英特格WG3D40DR2

  • Chambergard™快速排气扩散器是可靠的选择
    通过zui小化负载锁定通风循环来提高系统吞吐量
    时间。这些扩散器可快速排放到大气中
    而不会干扰或向腔室中的晶片添加颗粒。
    它们将扩散器的流动特性与高
    效率过滤器，以提高效率和吞吐量。与我们的
    扩散器，满足您的需求。

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材料扩散器元件：专利，烧结镍膜过滤器
外壳：316L不锈钢
内部表面光洁度：≤32μin Ra
性能下游清洁度：在额定流量下，清洁度小于0.03个颗粒/升（<1个颗粒/ft3），大于0.01μm
去除率：≥0.0015μm
可靠性：25°C（77°F）下zui大额定入口压力下的100000次循环可靠性
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