应用
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•半导体
•数据存储
•平板显示器
•LED
•太阳能
功能和优点
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过程控制和保护纯度控制低于十亿分之一（ppb）水平
通过净化器的低压降
CE认证符合压力设备指令（PED）
在ISO®9001:2015设施中制造
经济高效的再生-消除了处置问题和成本
使用寿命长--提高了拥有成本
使用安全简单使用环境温度净化-无需加热或供电
需要操作
对方向不敏感（水平 / 竖的
通用规范
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气体净化H2、D2、N2、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H2/N2、H2/惰性气体
去除杂质污染物出口纯度
H2O<100 pptV
O2<100 pptV
CO<100 pptV
二氧化碳<100 pptV
出口颗粒过滤器Wafergard®--316不锈钢膜，20μm或0.0015μm
寿命一年，入口挑战为1 ppm湿度、1 ppm氧气，流速
如下一页所示。
寿命随入口杂质和流速的不同而变化。联系Entegris
应用程序特定的寿命计算。
可重新生成是
危险品（DG）是，UN3190，4.2级
工作温度0° – 65°C（32° – 149°F）
泄漏额定值1×10-9 atm cc/sec的He
外壳材料：316L不锈钢
CE认证，符合压力设备指令（PED）
根据ASME®设计
操作规范
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模型
大限度
流量
寿命为1
今年的这个
流速，
含1 ppm
湿度和
1ppm氧气
大限度
操作
压力-
仅限净化器
大限度
操作
压力-
带有的净化器
选项
压降，
具有20μm
颗粒过滤器*
压力
下降，带有
0.0015微米
颗粒过滤器*
GPU 35 1 slpm 0.7 slpm 1400 psig 250 psig–0.3 psid
GPU 70 5 slpm 1.0 slpm 1400 psig 250 psig–0.5 psid
GPU 80 10 slpm 1.2 slpm 1400 psig 250 psig–1.0 psid
GPU 100 20 slpm 1.7 slpm 1000 psig 250 psig–16.7 psid
GPU 200 20 slpm 2.8 slpm 800 psig 250 psig–0.7 psid
GPU 300 50 slpm 4.2 slpm 800 psig 250 psig–1.3 psid
GPU 500 75 slpm 8.0 slpm 600 psig 250 psig–1.3 psid
GPU 700 120 slpm 12.0 slpm 600 psig 250 psig–1.8 psid
GPU 2500 4R 300 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig–5.0 psid
GPU 2500 8R 500 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig–5.6 psid
GPU 3000 500 slpm 52.5 slpm 505 psig 250 psig–5.6 psid
GPU 5000 500 slpm 85.0 slpm 505 psig 250 psig–7.0 psid
GPU 10M 8R 1000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig–5.8 psid
GPU 10M 12R 1000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig–8.0 psid
GPU 13M 12R 2000 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid–
GPU 13M 16R 2500 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid–
GPU 17M 12R 2000 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid–
GPU 17M 16R 2500 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid–
GPU 20M 12R 2000 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig–19.0 psid
GPU 20M 16R 2500 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig–19.0 psid
GPU模型
联系
尺寸（VCR）
入口/出口
连接类型
（VCR）
外部
直径（OD）
总长度
（目标）
近似
重量
GPU 35 1/4“外螺纹/外螺纹38.1毫米（1.5英寸）84毫米（3.3英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 70 1/4“外螺纹/外螺纹38.1毫米（1.5英寸）114毫米（4.5英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 80 1/4“外螺纹/外螺纹38.1毫米（1.5英寸）127毫米（5.0英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 100 1/4“外螺纹/外螺纹N/A 84 mm（3.3”）0.9 kg（2.0 lbs）
GPU 200 1/4“外螺纹/外螺纹50.8毫米（2.0英寸）157毫米（6.2英寸）0.9公斤（2.0磅）
GPU 300 1/4“外螺纹/外螺纹50.8毫米（2.0英寸）208毫米（8.2英寸）1.1公斤（2.5磅）
GPU 500 1/4“外螺纹/外螺纹76.2毫米（3.0英寸）201毫米（7.9英寸）1.8公斤（4.0磅）
GPU 700 1/4“外螺纹/外螺纹76.2毫米（3.0英寸）254毫米（10.0英寸）2.5公斤（5.5磅）
GPU 2500 4R 1/4“外螺纹/外螺纹101.6毫米（4.0英寸）439毫米（17.3英寸）6.8公斤（15磅）
GPU 2500 8R 1/2“外螺纹/外螺纹101.6毫米（4.0英寸）445毫米（17.5英寸）6.8公斤（15磅）
GPU 3000 1/2“外螺纹/外螺纹101.6毫米（4.0英寸）508毫米（20.0英寸）7.3公斤（16磅）
GPU 5000 1/2“外螺纹/外螺纹101.6毫米（4.0英寸）785毫米（30.9英寸）10.0公斤（22磅）
GPU 10M 8R 1/2“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）737毫米（29.0英寸）20公斤（44磅）
GPU 10M 12R 3/4“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）749毫米（29.5英寸）21.8公斤（48磅）
GPU 13M 12R 3/4“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）892毫米（35.1英寸）24.9公斤（55磅）
GPU 13M 16R 1“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）899毫米（35.4英寸）24.9公斤（55磅）
GPU 17M 12R 3/4“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）1085毫米（42.7英寸）29.5公斤（65磅）
GPU 17M 16R 1“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）1090毫米（42.9英寸）29.5公斤（65磅）
GPU 20M 12R 3/4“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）1290毫米（50.8英寸）34公斤（75磅）
GPU 20M 16R 1“外螺纹/外螺纹152.4毫米（6.0英寸）1296毫米（51.0英寸）34公斤（75磅）
