VacuSeal™金属垫圈端面密封接头具有极高的泄漏完整性,适用于需要超高纯度条件的关键应用,如半导体工具挂钩、阀组箱(VMB)和气体分配系统。接头采用匹配垫圈和环形设计,形成金属对金属密封,并提供高达9000 psig的真空无泄漏服务。
VacuSeal™接头尺寸从1/8到1英寸不等,有多种阀体和压盖配置。它们在100级洁净室中由Veriflo专有的Vericlean™低硫316L不锈钢制成。标准的5 Ra,电抛光润湿表面光洁度减少了截留面积,同时提供了卓越的耐腐蚀性。可提供高纯度镍和哈氏合金C-22®压盖,以确保在极端腐蚀性应用中的性能和可靠性。
VacuSeal™接头设计用于与平面和Verfilo的TorqTite™自对准面密封垫圈配合使用,无需安装工具,可消除由于热循环和振动导致的部件松动。TorqTite™还可确保密封,即使在损坏的环面上也是如此,并允许施加极高的扭矩,而不会有损坏密封表面的风险。这与VacuSeal™接头的超高纯度结构材料相结合,大限度地减少了颗粒的产生,并确保了清洁度至关重要的晶圆制造操作中的泄漏完整性。
所有VacuSeal™接头都经过氦气泄漏测试,以确保在要求苛刻的超高压应用中的性能和可靠性。
市场:
•半导体
•工具制造
•分析实验室
•制药
•BioPharm
•航空航天
•工业
应用:
•腐蚀性气体和特种气体
•半导体Fab气体分配系统
•半导体工具
•工具连接
•燃气柜
•阀组箱(VMB)
特点/优点:
•两个泄漏测试端口,便于进行泄漏测试
•泄漏率:≤1 x 10-9 STD scc/秒He
•5 Ra内部电抛光表面光洁度
•内螺纹螺母采用强化电镀工艺镀银,用于清洁、电抛光和钝化中的腐蚀性化学工艺
•非旋转内螺纹螺母可防止在上扣过程中传递扭矩,从而大限度地减少导致应力集中的部件扭曲
•防磨损内螺纹螺母可确保在无电镀或润滑的情况下实现一致的补偿。
•获得专利的TorqTite™垫圈最初接触内锥,径向挤出任何截留的污染物
•压盖上的加热代码提供了原材料的可追溯性
•从系统中移除部件不需要轴向间隙
•平滑过渡到内径,大限度地减少截留面积
CHUV3L0P1
CBUV0S0P1
德国 Vahle 碳刷
SA-KDS2/40/04PH-8
8/15-0,5 016807
3/03
数量20个 单价440
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D1SE30BNJW 18周
KRACHT阀SPV10A1G1A07
原型号C1518PB00U6468已升级为C1518PB00U0M
KDG-2251NV0000
SPC6.S08.0P.000
controlvalves 泄压阀 108G002-1202281
072S-0250C-1S
088S-050L-2O
PGSA01P01Y 单价12000
WGFG02PS1 单价2500
Wilcoxon Model 731A/P31
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DEBEM气动隔膜泵IB81-FC-MTTFT
SUCO压力开关0166-40703-1-027
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