完整的探测器套件和探测器盒的描述 套件部件编号 氨 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NH3 砷化三氢 0-0.2 ppm 套件 MIDAS-K-ASH 三氯化硼 0-8 ppm，二氯甲硅烷 0-8 ppm，溴化氢 0-8 ppm， 氯化氢 0-8 ppm MIDAS-K-HCL 三氟化硼 0-8 ppm，氟化氢 0-12 ppm，三氟化氮 4-40 ppm， 以及六氟化钨 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-HFX 溴 0-0.4 ppm 与二氧化氯 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-BR2 氯 0-2 ppm 与氟 0-4 ppm 套件 MIDAS-K-HAL 二氧化碳 0-2.0% v/v 套件 MIDAS-K-CO2 一氧化碳 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-COX 硼乙烷 0-0.4 ppm 与锗烷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-HYD 氢 0-1000 ppm 套件 MIDAS-K-H2X 氢 0-100% LEL 与甲烷 0-100% LEL 套件 1 MIDAS-K-LEL 氰化氢 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-HCN 硒化氢 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-HSE 硫化氢 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-H2S 一氧化氮 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NOX 二氧化氮 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-NO2 氧气 0-25% v/v 套件 MIDAS-K-O2X 臭氧 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-O3X 磷化氢 0-1.2 ppm 套件 MIDAS-K-PH3 氯氧化磷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-POC 硅烷 0-20 ppm 与 乙硅烷 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-SHX 硅烷 低级别 0-2 ppm 套件 MIDAS-K-SHL 四氟化硫 0-0.8 ppm 与三氟化氯 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-SF4 二氧化硫 0-8 ppm 套件 MIDAS-K-SO2 TEOS 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-TEO
