ENTEGRIS应特格，WG3NS4JJ2，WG3NS4RR2，WG3NS7SL2
Wafergard
III NF-100 在线气体过滤器
全金属过滤器在惰性和反应性气体应用中具有出色的耐腐蚀性和出色的兼容性，流量高达 100 slpm
合身尺寸
1/4"
配件类型
密封垫片
长度
84.1 毫米（3.31 英寸）
最大工作压力
50 巴（725 磅/平方英寸）
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器
为高温和动态压力应用中的超纯气体系统提供卓越的微粒过滤。
可用的最清洁、最高效的全金属过滤器
镍滤膜
优越的耐腐蚀性
高温和动态压力应用的理想选择
通常用于高达 75 slpm 的流量
应用
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
阀组箱
新工厂建设
动压应用
惰性和反应性气体
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用。
产品规格
材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子1 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物2 H 2 O、O 2和 THC 的挥发性释气低于可检测限（在室温下通过 RGA 和 FID）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10 atm cc/秒
经过测试 1 × 10 -9 atm cc/秒
最大工作条件 最大入口压力 70 巴 (1000 psi) @ 100°C
最大正向/反向压差 10 巴 (150 psid)
最高工作温度 惰性气体 400°C @ 35 bar (500 psi)
腐蚀性和反应性气体 50°C @ 70 bar (1000 psi)
保修单 5年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大额定流量下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 查看性能数据
1颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD)。
2挥发性清洁度符合 SEMASPEC 测试方法的要求：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD) 和氧气贡献 (#90120398B-STD)。
零件号
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS4JJ2 1/4" 对焊管 71.4 毫米（2.81 英寸）
WG3NS4RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS7SL2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
Wafergard III NF-100 在线气体过滤器
全金属过滤器在惰性和反应性气体应用中具有出色的耐腐蚀性和出色的兼容性，流量高达 100 slpm
合身尺寸
1/4"
配件类型
密封垫片
长度
84.1 毫米（3.31 英寸）
最大工作压力
50 巴（725 磅/平方英寸）
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器
为高温和动态压力应用中的超纯气体系统提供卓越的微粒过滤。
可用的最清洁、最高效的全金属过滤器
镍滤膜
优越的耐腐蚀性
高温和动态压力应用的理想选择
通常用于高达 75 slpm 的流量
应用
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
阀组箱
新工厂建设
动压应用
惰性和反应性气体
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用。
产品规格
材料 滤芯 获得专利的烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子1 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物2 H 2 O、O 2和 THC 的挥发性释气低于可检测限（在室温下通过 RGA 和 FID）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤5 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10 atm cc/秒
经过测试 1 × 10 -9 atm cc/秒
最大工作条件 最大入口压力 70 巴 (1000 psi) @ 100°C
最大正向/反向压差 10 巴 (150 psid)
最高工作温度 惰性气体 400°C @ 35 bar (500 psi)
腐蚀性和反应性气体 50°C @ 70 bar (1000 psi)
保修单 5年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在最大额定流量下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 查看性能数据
1颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD)。
2挥发性清洁度符合 SEMASPEC 测试方法的要求：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD) 和氧气贡献 (#90120398B-STD)。
零件号
Wafergard III NF-75 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS4JJ2 1/4" 对焊管 71.4 毫米（2.81 英寸）
WG3NS4RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG3NS7SL2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
Entegris WGFG02PR1 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 阀
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 侦测器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS YY260103N 过滤器
Entegris CR4-2C-6F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 滤芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGPM0GGG2 过滤器
entegris WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
Entegris SVTH01TQ1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 阀
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
Entegris YY5032PS1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris YY5032PS1
Entegris WGFG21KP0
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFG21KP0
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 滤芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器