英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WG2F15HJJ6
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器
幻灯片细节。
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为超纯气体系统提供卓越的微粒过滤，同时提供与所有类别的半导体工艺气体的出色兼容性。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
通过真空袋和双袋包装的洁净室提供卓越的开箱即用清洁度
应用
Wafergard
II F-1500 在线气体过滤器应用
设施入口
隔板
设施追逐
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分@≥5% 额定流量
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2×10 -10 atm cc/秒
经过测试 1×10 -9 atm cc/秒
运行条件 最大入口压力 18 bar (250 psig) 在 23°C (73°F)
最大正向压差 7 bar (120 psid) 在 23°C (73°F)
最大反向压差 23°C (73°F) 时为 2.5 bar (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在 1500 slpm 下去除所有颗粒（参考最渗透颗粒尺寸）
流量等级 查看性能数据
零件号
Wafergard II F-1500 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG2F15HJJ4 1/2" 对焊管 295.0 毫米（11.60 英寸）
WG2F15HJJ6 3/4" 对焊管 295.0 毫米（11.60 英寸）
WG2F15HRR2 3/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容），外螺纹入口/出口 398.0 毫米（15.68 英寸）
WG2F15HRR3 3/8" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 225.0 毫米（8.86 英寸）
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 气体过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
Entegris WGFG02PR1 过滤器
Entegris WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WGPM0GGT4 过滤器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 阀
ENTEGRIS YY260103P 滤壳
ENTEGRIS PN2H010E1 滤芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS XX67000WH 过滤器
ENTEGRIS WGGB01KAN 过滤器
ENTEGRIS WGFG01KL0 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 侦测器
Entegris WG2SS8RR2 过滤器
Entegris WG3NS6RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS YY260103N 过滤器
Entegris CR4-2C-6F-3 气动阀
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十个） 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW 滤芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 气动阀
ENTEGRIS WG3NS2RR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
Entegris CWFV0S1S3 滤芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 气动阀
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGPM0GGG2 过滤器
entegris WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 过滤器
ENTEGRIS CN2501E6 滤芯
Entegris SVTH01TQ1 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS CN2501E06 滤芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG50PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DSH 过滤器
ENTEGRIS PLMV-K12 阀
ENTEGRIS PLMV-K04 阀
ENTEGRIS PLMV-K16 阀
ENTEGRIS PLPV-K04 阀
ENTEGRIS PLPV-K08 阀
ENTEGRIS PLPV-K12 阀
ENTEGRIS PLPV-K16 阀
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 气动阀
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
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Entegris WG2FT1RR2 过滤器
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Entegris YY5032PS1
Entegris WGFG21KP0
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ENTEGRIS WGPMOGGT2
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ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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Entegris WGFG21KP0
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ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
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ENTEGRIS WGPMOGGT2
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Entegris WG2FT1RR2 过滤器
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