Wafergard GN 气体过滤枪
这款易于使用、重量轻的气体过滤枪专为半导体应用中压缩气体的 POU 过滤而设计。
PTFE 膜可消除颗粒脱落，在气体应用中的颗粒保留率为 0.003 μm
提供 10 cm 2的有效过滤面积，实现高流速和更有效的晶圆清洗
滤芯经过 100% 预测试和预冲洗，以确保性能可靠
白色尼龙结构在酸和大多数溶剂应用中耐腐蚀
应用
Wafergard GN 气体过滤枪应用
散装气体输送
沉积
干蚀刻
离子注入
光刻
产品规格
材料 枪 身体，触发器 白色尼龙模压机身
阀门系统 不锈钢 304
O形圈 三元乙丙橡胶
管道 聚氨酯
筒式过滤器 膜 聚四氟乙烯
外壳，支持 聚丙烯
运行条件： 最大正向压差 0.4 兆帕@20°C (68°F)
最大反向压差 0.03 兆帕@20°C (68°F)
带过滤器的最高工作温度 50°C (122°F)
重量： 大约。150 克（5.29 盎司）
连接： 过滤枪 ¼ NPTF 入口 NPT 内螺纹
保留： 大于 99.9999999% 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard GN 气体过滤枪部件号
零件号 选择选项
P03203J 扳机维修套件（包括 1 个扳机、1 个弹簧和 1 个 O 形圈）
WGFG01KL0 Wafergard GN 气体过滤枪，10/包
WGFG01KL5 Wafergard GN 过滤器 5/包
WGGB01KAG Wafergard GN气枪
WGGB01KAN Wafergard GN气体过滤枪
XX67000WH 带接头的聚氨酯管，2/1m /7ft
XX671000T 螺旋管1/40DX5M