过滤/纯化

Wafergard® GN 气体过滤枪P03203J,WGFG01KL0,
  • Wafergard® GN 气体过滤枪P03203J,WGFG01KL0,

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Wafergard  GN 气体过滤枪

 

这款易于使用、重量轻的气体过滤枪专为半导体应用中压缩气体的 POU 过滤而设计。

PTFE 膜可消除颗粒脱落,在气体应用中的颗粒保留率为 0.003 μm
提供 10 cm 2的有效过滤面积,实现高流速和更有效的晶圆清洗
滤芯经过 100% 预测试和预冲洗,以确保性能可靠
白色尼龙结构在酸和大多数溶剂应用中耐腐蚀
应用
Wafergard  GN 气体过滤枪应用
散装气体输送
沉积
干蚀刻
离子注入
光刻
产品规格
材料    枪    身体,触发器    白色尼龙模压机身
阀门系统    不锈钢 304
O形圈    三元乙丙橡胶
管道    聚氨酯
筒式过滤器    膜    聚四氟乙烯
外壳,支持    聚丙烯
运行条件:    最大正向压差    0.4 兆帕@20°C (68°F)
最大反向压差    0.03 兆帕@20°C (68°F)
带过滤器的最高工作温度    50°C (122°F)
重量:    大约。150 克(5.29 盎司)
连接:    过滤枪    ¼ NPTF 入口 NPT 内螺纹
保留:    大于 99.9999999% 去除所有颗粒(参考最具穿透性的颗粒尺寸)
零件号
Wafergard  GN 气体过滤枪部件号
零件号    选择选项
P03203J    扳机维修套件(包括 1 个扳机、1 个弹簧和 1 个 O 形圈)
WGFG01KL0    Wafergard GN 气体过滤枪,10/包
WGFG01KL5    Wafergard GN 过滤器 5/包
WGGB01KAG    Wafergard GN气枪
WGGB01KAN    Wafergard GN气体过滤枪
XX67000WH    带接头的聚氨酯管,2/1m /7ft
XX671000T    螺旋管1/40DX5M
 

LOGO

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