英特格ENTEGRIS快速排气扩散器，WG3D25LR2现货8个
通过减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。
获得专利的烧结镍技术可在所有应用中提供卓越的性能
设计能够从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，从而最大限度地减少晶圆缺陷
提供快速排气，而不会干扰或向晶圆添加颗粒，减少循环时间，同时提高产量
将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量
易于改装/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
产品规格
材料 扩散器元件：获得专利的烧结镍膜过滤器
外壳：316L不锈钢
内部表面光洁度：≤32 μin Ra
表现 下游清洁度：清洁度小于 0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺3）大于 0.01 μm 在额定流量下
去除率：≥0.0015 μm
可靠性：在 25°C (77°F) 的最大额定入口压力下，100,000 次循环的可靠性
零件号 O 型圈尺寸 O型圈槽外径 出口连接类型 O 型圈槽内径 O 型圈 凹槽深度 操作条件，最大入口压力，出口至真空 工作条件，最大压差 工作条件，最高工作温度 入口连接类型
WG3D16TR2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D228R2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头
WG3D25LR2 2-123 35.9 毫米（1.41 英寸） ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 29.8 毫米（1.17 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D25SR2 2-123 35.9 毫米（1.41 英寸） ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 29.8 毫米（1.17 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D350R2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头
WG3D35BW2 2-117 26.4 毫米（1.03 英寸） ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 20.3 毫米（0.79 英寸） 1.9 毫米（0.07 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头
WG3D3LBW2 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 没有任何 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 20 mm 对焊管接头
WG3D401R2 2-246 114.3 毫米（4.50 英寸） ISO NW-100，螺栓穿过 122.4 毫米 (4.81) 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.25 兆帕（35 磅/平方英寸） 0.35 兆帕（50 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D40DR2 2-224 52.1 毫米（2.05 英寸） ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 44 毫米（1.73 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） 0.4 兆帕（60 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D40TR2 2-224 52.1 毫米（2.05 英寸） ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 44 毫米（1.73 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） 0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 1/4" VCR 兼容公垫圈密封接头
WG3D50DR2 2-229 67.9 毫米（2.67 英寸） ISO NW-50，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 59.9 毫米（2.35 英寸） 2.6 毫米（0.10 英寸） 0.2 兆帕（30 磅/平方英寸） 0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） 100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈