韩国tk-fujikin全金属滤芯过滤器，SS-A200-4VM
韩国tk-fujikin全金属滤芯过滤器，SS-A200-4VM
韩国tk-fujikin全金属滤芯过滤器，SS-A200-4VM
金属滤芯过滤器系列
TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件类型，例如不锈钢和哈氏合金。
金属元件由SUS316L和哈氏合金经金属粉末特殊处理后
烧结而成，通过精细加工的孔径实现了与传统粉末烧结元件相比的高去除率、低压降。
采用哈氏合金、SUS 烧结的元件
在高压范围内仍具有稳定的过滤能力、出色的抗腐蚀和耐热性。
超高纯度在线气体过滤器
■ 全316L 不锈钢结构
■ 高温和动态压力应用
■ 紧凑的尺寸和可变端接
特征■ 15 至 300SLPM 的宽范围流量■ 与大多数高纯度半导体工艺气体具有出色的兼容性。■ 3 纳米颗粒过滤能力以最小的压降保持高流动效率。■ 5Ra 电抛光表面可防止内部污染。■ 去离子水清洗后用热氮气烘烤，符合半导体工艺标准。■ Class 100 制造、清洁和包装环境。■ 100% 氦泄漏测试。订购信息
| 尺寸 |
联系 |
| 4 |
1/4" |
虚拟机 |
MFS公型 |
| 6 |
3/8" |
西南 |
乐型 |
| 8 |
1/2" |
|
|
规格
| 移除评级 |
≥ 0.0025 ㎛ |
| 保留 |
大于 99.9999999999% 去除所有小至 0.0025 um 的颗粒 |
| 额定流量@10^9 |
15 SLPM |
| 60 升/分钟 |
| 120 英寸/分钟 |
| 200 升/分钟 |
| 300 英尺/分钟 |
| 材料 |
滤芯 |
316L不锈钢 |
| 电抛光外壳 |
SM/DM 316L 不锈钢 |
| 操作条件 |
最大入口压力 |
21 MPa (210kgf/cm2) 在 20 °C |
| 最大压差 |
15 MPa (153kgf/cm2) 在 20 °C |
| 最高工作温度 |
460 °C（惰性气体） |
| 氦泄漏等级 |
1 x 10^-9 atm · cc / sec |
| 表面处理内部 |
≤ Ra 5μin |
方面
| 零件编号 |
一个/毫米 |
宽/毫米 |
厘米/毫米 |
深/毫米 |
E/毫米 |
F/毫米 |
唔 |
| SS-A15-4VM |
15.5 |
53 |
15.5 |
27 |
30 |
27 |
84 |
| SS-A15-4SW |
10 |
53 |
10 |
27 |
30 |
27 |
73 |
| SS-A60-4VM |
15.5 |
53 |
15.5 |
27 |
30 |
27 |
84 |
| SS-A60-4SW |
10 |
53 |
10 |
27 |
30 |
27 |
73 |
| SS-A60-6(8)VM |
19 |
53 |
19 |
27 |
30 |
27 |
91 |
| SS-A120-4VM |
15.5 |
96 |
15.5 |
29 |
33 |
30 |
127 |
| SS-A120-4SW |
10 |
96 |
10 |
29 |
33 |
30 |
116 |
| SS-A120-6(8)VM |
19 |
96 |
19 |
29 |
33 |
30 |
134 |
| SS-A120-6(8)SW |
12 |
96 |
12 |
29 |
33 |
30 |
120 |
| SS-A200-4VM |
15.5 |
98 |
15.5 |
35 |
39 |
35 |
129 |
| SS-A200-4SW |
10 |
98 |
10 |
35 |
39 |
35 |
118 |
| SS-A200-6(8)VM |
19 |
98 |
19 |
35 |
39 |
35 |
136 |
| SS-A200-6(8)SW |
12 |
98 |
12 |
35 |
39 |
35 |
122 |
| SS-A300-4VM |
15.5 |
98 |
15.5 |
35 |
39 |
35 |
129 |
| SS-A300-4SW |
10 |
98 |
10 |
35 |
39 |
35 |
118 |
| SS-A300-6(8)VM |
19 |
98 |
19 |
35 |
39 |
35 |
136 |
| SS-A300-6(8)SW |
12 |
98 |
12 |
35 |
39 |
35 |
122 |