比传统设计提供更好的精度、稳定性和带宽的带电板监视器
Trek 157 将获得专利的精确电荷测量功能与降低离子发生器维护和性能测试成本的功能相结合。
监控电压范围: 0 至 ±1020 VDC 或峰值 AC
带宽:(-3dB):DC 至 80 Hz
衰减模式阈值:可在 1 至 ±1000 V 范围内以 1V 为增量进行编程(精确到编程电压的 ±1V 范围内)
概述
Trek 157 将获得专利的精确电荷测量功能与降低离子发生器维护和性能测试成本的功能相结合。增强的功能,例如使操作员能够以数据点或图表的形式存储和检索数据以及记录操作员评论以供参考的功能,使 Trek 157 成为材料耗散测试和静电荷监测的理想选择。
好处
设置自定义测量电容,以确保在制造过程中满足 ESD 工艺需求
采用紧凑轻巧的设计,可在设施内轻松运输
用于半导体、磁盘驱动器和 LCD 等敏感制造过程的 ESD 监测
特征
更大的带宽可以通过避免掩盖结果来观察“真实”响应
极低的偏移和漂移确保了高精度,非常适合需要关键离子平衡的应用,例如 GMR 和 TMR 制造领域
每台设备均提供 NIST 可溯源校准证书
产品
等离子发电机
高压电源
低压电源
远程等离子源
可控硅功率控制器
温度测量
气体传感器
配件
解决方案
分析仪器
半导体制造
热处理
太阳能光伏
玻璃涂料
工业涂料TREK TRK-157
TREK TRE-20-00220 157-CE 检测仪
TREK TRE-20-00345(150*150 6*6) 测量针
TREK TRK-288C
TREK TRE-20-00220 157-CE 检测仪
TREK 17397-150MM*150MM 充电板
TREK TRK-157 静电测试仪
TREK TRK-156AP-C150X150-R3M 静电测试板