Fluorogard AT 过滤器
在大于 65 nm 的技术节点中清洁、经济高效地过滤非除气、水性、酸和碱化学物质或高级溶剂应用。
应用
Fluorogard AT 过滤器应用
行业：半导体（湿法蚀刻和清洁、散装化学品输送）、生命科学（净化）、平板显示器（有机层印刷）
化学：腐蚀性酸、腐蚀性碱、溶剂
安装：工具点，散装
产品规格
在 ATX 吃 AT3
材料： 膜： 疏水性聚四氟乙烯
支撑、套筒、端盖、芯 粉煤灰
滤芯 O 型圈选项 E-FKM、E-ETP、Chemraz 、Kazlrez 、FER
保留率（见注1）： 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5.0、10.0 µm（见注 2） 15、20 nm、0.03、0.05、0.1 µm
UCM 选项：15、20 nm（见注 2） 15、20 nm、0.03、0.05、0.1 µm
UCM 选项：15、20 nm（见注 2） UCM 选项：15 纳米
膜面积： 4" 0.36 平方米（3.88 平方英尺） 0.5 平方米（5.38 平方英尺） 2.2 平方米（23.86 平方英尺）
10" 0.9 平方米（9.68 平方英尺） 1.3 平方米（13.99 平方英尺） (15 纳米/20 纳米) 2.1 平方米 (22.6 平方英尺) 2.8 平方米（30.14 平方英尺）
20" 1.8 平方米（19.38 平方英尺） 2.6 平方米（27.99 平方英尺） 4.4 平方米（47.36 平方英尺）
30" 2.7 平方米（29.06 平方英尺）
颗粒清洁度 以 3-5 L/min 冲洗 5 分钟后 ≤ 50 个颗粒/10 mL (≥ 0.05 µm/10 mL)
金属萃取物： 墨盒 标准 <40 µg 每台设备
UCM <10 µg 每台设备
一次性的 标准 <10 µg 每台设备
UCM <3 µg 每台设备
墨盒 一次性的 一次性（管式）
运行条件 最大工作压力 0.58 MPa (5.8 bar, 84 psi) @ 25°C (77°F) 0.58 MPa (5.8 bar, 84 psi) @ 25°C (77°F) 0.58 MPa (5.8 bar, 84 psi) @ 25°C (77°F)
最大正向压差 0.44 MPa (4.4 bar, 64 psi) @ 25°C (77°F) 0.44 MPa (4.4 bar, 64 psi) @ 25°C (77°F) 0.44 MPa (4.4 bar, 64 psi) @ 25°C (77°F)
0.05 MPa (0.5 bar, 7.5 psi @ 180°C (356°F) 0.05 MPa (0.5 bar, 7.5 psi @ 180°C (356°F) 0.05 MPa (0.5 bar, 7.5 psi @ 150°C (302°F)
最大反向压差 0.34 MPa (3.45 bar, 50 psi @ 25°C (77°F) 0.34 MPa (3.45 bar, 50 psi @ 25°C (77°F) 0.34 MPa (3.45 bar, 50 psi @ 25°C (77°F)
最高工作温度 180°C (356°F) 180°C (356°F) 150°C (302°F)
Flowell 60 系列一次性 100°C (212°F)
注 1：0.03 µm、15 nm 和 20 nm 的保留等级作为 UCM 产品用于溶剂过滤 - 无预湿选项。
注 2：预湿选项在 0.05 µm 和 1 µm 之间可用。