Wafergard III NF-30 在线气体过滤器
为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤。
全金属结构提供最清洁、最高效的全金属过滤器
获得专利的镍过滤膜具有出色的耐腐蚀性和出色的化学相容性
创新的外壳设计有助于消除排气并减少干燥时间
高温和动态压力应用的理想选择
通常用于高达 30 slpm 的流量
应用
Wafergard III NF-30 在线气体过滤器应用
大宗气体输送
光刻
沉积
干法蚀刻
离子注入
注意：不建议与 CO、O 3和低含量氢化物掺杂剂气体一起使用。
产品规格
材料 滤膜： 获得专利的烧结镍
住房： 电抛光 F20 不锈钢
下游清洁度 颗粒：* 小于 0.03 个颗粒/升（小于 1 个颗粒/ft 3）大于 0.01 µm
挥发物：** H 2 O、O 2和 THC 的挥发性释气低于可检测限（在室温下通过 RGA 和 FID）
移除等级 ≥0.0015 µm
表面处理内部 ≤5 µin Ra
氦泄漏率 合格的： 2x10 -10 atm cc/秒
测试： 1x10 -9 atm cc/秒
最大工作条件 最大入口压力： 70 bar (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向压差： 10 巴 (150 psid)
最高工作温度 惰性气体： 35 bar (500 psi) 时 400°C (752°F)
腐蚀性和反应性气体： 50°C (122°F) 在 70 bar (1000 psi)
保修单 5年
颗粒保留 在 30 slpm 时所有颗粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
在 75 SLPM 时，所有颗粒的去除率大于 99.9999%（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量 参考流量曲线
*颗粒清洁度符合 SEMASPEC 颗粒脱落测试方法 (#93021511A-STD)
**挥发性清洁度符合 SEMASPEC 测试方法：THC 贡献 (#90120396B-STD)、水分贡献 (#90120397B-STD)、氧气贡献 (# 90120398B-STD)
零件号
Wafergard III NF-30 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS3FF2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）内螺纹入口/出口 58.4 毫米（2.30 英寸）
WG3NS3FR2 1/4" 极化垫圈密封（与 VCR 接头兼容）内螺纹入口/外螺纹出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS3JJ2 1/4" 对焊管 28.4 毫米（1.12 英寸）
WG3NS3RF2 1/4" 极化垫片密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/内螺纹出口 71.1 毫米（2.80 英寸）
WG3NS3SL2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短版 58.7 毫米（2.31 英寸）
WG3NS6RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸）