Chambergard 快速排气扩散器
通过减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间来提高效率和吞吐量。
获得专利的烧结镍技术可在所有应用中提供卓越的性能
设计能够从进入的气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，从而最大限度地减少晶圆缺陷
提供快速排气，而不会干扰或向晶圆添加颗粒，减少循环时间，同时提高产量
将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量
易于改装/安装到现有工具中，最大限度地减少停机时间
应用
Chambergard 快速排气扩散器应用
提供快速的气体排放到大气中，而不会干扰或向腔室中的晶片添加颗粒
产品规格
材料 扩散器元件：获得专利的烧结镍膜过滤器
外壳：316L不锈钢
内部表面光洁度：≤32 μin Ra
表现 下游清洁度：清洁度小于 0.03 个颗粒/升（<1 个颗粒/英尺3）大于 0.01 μm 在额定流量下
去除率：≥0.0015 μm
可靠性：在 25°C (77°F) 的最大额定入口压力下，100,000 次循环的可靠性
连接 请参阅数据表
运行条件 请参阅数据表
Chambergard™ 快速排气扩散器部件号
| 零件号 |
O 型圈尺寸 |
O型圈槽外径 |
出口连接类型 |
O 型圈槽内径 |
O 型圈 凹槽深度 |
操作条件，最大入口压力，出口至真空 |
工作条件，最大压差 |
工作条件，最高工作温度 |
入口连接类型 |
| WG3D16TR2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D228R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头 |
| WG3D25LR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D25SR2 |
2-123 |
35.9 毫米（1.41 英寸） |
ISO NW-25，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
29.8 毫米（1.17 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D350R2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头 |
| WG3D35BW2 |
2-117 |
26.4 毫米（1.03 英寸） |
ISO NW-16，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
20.3 毫米（0.79 英寸） |
1.9 毫米（0.07 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公或母垫圈密封接头或对焊接头 |
| WG3D3LBW2 |
没有任何 |
没有任何 |
没有任何 |
没有任何 |
没有任何 |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
20 mm 对焊管接头 |
| WG3D401R2 |
2-246 |
114.3 毫米（4.50 英寸） |
ISO NW-100，螺栓穿过 |
122.4 毫米 (4.81) |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.25 兆帕（35 磅/平方英寸） |
0.35 兆帕（50 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D40DR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
0.4 兆帕（60 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D40TR2 |
2-224 |
52.1 毫米（2.05 英寸） |
ISO NW-40，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
44 毫米（1.73 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.7 兆帕（100 磅/平方英寸） |
0.8 兆帕（115 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |
| WG3D50DR2 |
2-229 |
67.9 毫米（2.67 英寸） |
ISO NW-50，隔板安装与标准 ISO 隔板夹兼容 |
59.9 毫米（2.35 英寸） |
2.6 毫米（0.10 英寸） |
0.2 兆帕（30 磅/平方英寸） |
0.3 兆帕（45 磅/平方英寸） |
100° C (212° F) 带 O 形圈，400° C (752° F) 不带 O 形圈 |
1/4" VCR® 兼容公垫圈密封接头 |