应特格Optimizer去离子过滤器，CBUG0S0S1,ENTEGRIS
液体光化学过滤器设计用于使用点 (PoU) 光刻工艺中的去离子水应用。小胶囊外形和清洁的膜/支撑/外壳材料在 > 28 nm 节点应用中提供高纯度污染物去除性能。
应用
Optimizer 去离子过滤器应用
行业：半导体（光刻）
化学：光化学、溶剂
安装点：工具点
产品规格
材料 膜： UP*
支撑、芯、套筒： 高密度聚乙烯
住房： 聚丙烯
膜面积 DI 1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
DI-L 3600 平方厘米（3.88 平方英尺）
DI-L (20 纳米) 2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
留存率 DI、DI-L 0.2、0.1、0.05 µm、20 nm
配件 提供多种接头，包括 Super Type Pillar 接头、压缩密封（Swagelok 兼容接头）和 Flaretek 接头。
运行条件 最大入口压力 0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
最大正向/反向压差 0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
0.28 MPa (2.8 bar, 40 psi, 2.8 kg/cm²) @ 25°C (77°F)
工作温度 60°C (140°F)
*表面改性UPE
Entegris 建议客户至少每年更换一次过滤器，以确保获得最佳过滤性能。例行的年度更换还将减少因过度使用而导致的化学品泄漏的可能性。
我们的标准保修期为 1 年（从 Entegris 发货日期算起）。
Optimizer DI 过滤器部件号
零件号 光刻技术 长度 留存率 联系
CBUG0L0S1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG0S0F1 氯化钾 短胶囊 0.2微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUG0S0P1 氯化钾 短胶囊 0.2微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUG0S0S1 氯化钾 短胶囊 0.2微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG2L0P1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG3L0F1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUG3L0P1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG3L0S1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUG6S0P1 氯化钾 短胶囊 0.2微米 6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG8L0P1 氯化钾 长胶囊 0.2微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUG8S0P1 氯化钾 短胶囊 0.2微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV0L0P1 氯化钾 长胶囊 0.1微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUV0L0S1 氯化钾 长胶囊 0.1微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV0S0F1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUV0S0P1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUV0S0S1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV2L0P1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV2S0S1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 1/2" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV3L0F1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口 Flaretek 接头
CBUV3L0P1 氯化钾 长胶囊 0.1微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV3L0S1 氯化钾 长胶囊 0.1微米 3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUV3S0P1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV6S0P1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV8L0P1 氯化钾 长胶囊 0.1微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUV8S0P1 氯化钾 短胶囊 0.1微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX3L0P1 射频 长胶囊 20纳米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX8L0P1 射频 长胶囊 20纳米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUX8S0P1 射频 短胶囊 20纳米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ0L0F1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUZ0L0S1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ0S0F1 氯化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Flaretek 接头
CBUZ0S0P1 氯化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，Super type Pillar 接头
CBUZ0S0S1 氯化钾 短胶囊 0.05 微米 1/4" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ2L0P1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 1/2" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ3L0F1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口 Flaretek 接头
CBUZ3L0P1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 通风口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ3L0S1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 3/8" 入口/出口，1/4" 排气口/排水口，压缩接头
CBUZ3L0X1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 —
CBUZ6S0P1 氯化钾 短胶囊 0.05 微米 6 mm 入口/出口，4 mm 排气口/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ8L0P1 氯化钾 长胶囊 0.05 微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头
CBUZ8S0P1 氯化钾 短胶囊 0.05 微米 8 mm 入口/出口，4 mm 排气/排水口，Super Type Pillar 接头