美国ENTEGRIS英特格，气体过滤器 WGMXMSRR4
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard® MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
| PART NUMBER |
FITTING SIZE AND TYPE |
LENGTH |
| WGMXMBPRF2 |
1/4" male VCR® inlet, 1/4" female VCR® outlet |
141.2 mm (5.6") |
| WGMXMBRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
| WGMXMBRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |
| WGMXMBSS2 |
1/4" Swagelok® |
112.7 mm (4.44") |
| WGMXMBSS3 |
3/8" Swagelok® |
117.9 mm (4.64) |
| WGMXMBSS4 |
1/2" Swagelok® |
118.7 mm (4.67") |
| WGMXMPRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
| WGMXMPRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |
| WGMXMPSS2 |
1/4" Swagelok® |
112.7 mm (4.44") |
| WGMXMPSS3 |
3/8" Swagelok® |
117.9 mm (4.64) |
| WGMXMPSS4 |
1/2" Swagelok® |
118.7 mm (4.67") |
| WGMXMSBW2 |
1/4" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSBW3 |
3/8" butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSBW4 |
1/2" Butt weld tube |
133.4 mm (5.25") |
| WGMXMSRR2 |
1/4" male VCR® |
127 mm (5.00") |
| WGMXMSRR4 |
1/2" male VCR® |
127 mm (5.00") |