ENTEGRIS英特格，WG2F02RR2，WG2F02JJ2，WG2F02JJ4
Wafergard II F Mini XL 在线气体过滤器
在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行卓越的颗粒过滤。
紧凑的装置减少了气箱的整体占地面积，节省了宝贵的设备空间
PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量
低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
应用
Wafergard II F Mini XL 在线气体过滤器应用
臭氧应用（气体）
煤气柜
超纯气体系统
阀组箱
气体面板
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 316L 不锈钢
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3) >0.01µm
挥发物 <10 ppb 水分
移除等级 0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 µin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
经过测试 1 × 10 -9 atm/cc-sec
浓度分辨率 ±0.015 ppm
运行条件 最大入口压力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向压差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大压差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度： 120°C (248°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG2F02JJ2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容）外螺纹入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容）外螺纹入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）