ENTEGRIS气体过滤器,WG2FT1SS2,WG2FT1RR2,WG2FT1RF2
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ENTEGRIS气体过滤器,WG2FT1SS2,WG2FT1RR2,WG2FT1RF2
Wafergard II F 微型在线气体过滤器
这些气体过滤器推荐用于惰性气体和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了在较低蒸气压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
Wafergard II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
气柜和面板
超纯气体系统
内部流程工具
产品规格
材料
滤芯
由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分
移除等级 ≥0.0015 µm
表面处理内部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
经过测试 1 × 10 -9毫升/秒
运行条件 最大入口压力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
Wafergard II F 微型在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 应用
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半导体