Wafergard® GTL 在线气体过滤器
以高达 60 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
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提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
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>99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 µm 的颗粒
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应用Wafergard® GTL 在线气体过滤器应用
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低进气过滤器
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晶圆输送系统
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清洁干燥空气 (CDA)产品规格
零件号
Wafergard® GTL 在线气体过滤器部件号
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零件号 |
接头尺寸和类型 |
长度 |
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WGFG01DSH |
RC 1/4（PT1/4 母头） |
101 毫米（4.0 英寸） |
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WGFG01DSO |
1/4" NPT（内螺纹） |
101 毫米（4.0 英寸） |
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材料 |
膜： |
疏水性氟聚合物 PTFE |
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支架、外壳： |
聚砜 |
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推荐流量 |
60 升/分钟 |
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连接 |
Rc1⁄4（PT1⁄4 内螺纹），1⁄4” NPT 内螺纹 |
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膜面积 |
25 厘米2 (3.9 英寸2 ) |
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颗粒保留 |
>99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的颗粒尺寸下验证） |
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运行条件 |
最大工作压力： |
0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C |
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最大正向压差： |
0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C |
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最大反向压差： |
0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C |
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最高工作温度： |
50°C (122°F) |
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方面 |
直径： |
25 毫米（0.98 英寸） |
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长度： |
101 毫米（4.0 英寸） |