Fluorogard NX 过滤器，这些过滤器专为腐蚀性水性化学品和溶剂而设计，为先进的湿法蚀刻和清洁 (WEC) 应用提供了一种经济高效的替代方案。
10 µm 至 15 nm 的保留等级可去除一系列酸、碱和其他工艺化学品中的颗粒。
需要最少的设置时间，从而降低高级 WEC 流程的拥有成本
中高流量延长寿命应用的理想选择
疏水膜增加的表面积提高了低压降的流速性能，并在高温下实现了更高的吞吐量和更高的设备产量
PTFE/PFA 氟树脂材料采用热粘合 PFA 结构，可确保出色的化学相容性并最大限度地减少可能影响工艺性能的氯化物和金属可萃取物
经济高效的预湿滤筒式过滤器选件附带 0.9% H 2 O 2湿式，允许在水性化学品中快速启动并防止酒精-化学相互作用，应用
Fluorogard NX 过滤器应用
半导体和显示器市场应用中的中高流动性化学应用
湿法蚀刻和清洁 (WEC) 应用/单程和再循环
大宗化学品制造
散装化学品输送系统 (BCDS)
侵蚀性水化学
高级溶剂
注意：不建议将 Fluorogard NX 过滤器用于 SPM、SC1 和 SC2 等高除气解决方案。Entegris 建议将QuickChange NX 过滤器用于这些应用。，CTCAT100B0D
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