UHP 金属垫片面密封接头（最大尺寸为 1 英寸）– VacuSeal | #4 GVGR-N
VacuSeal 面密封接头专为超高纯度气体分配系统而设计。这些接头具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常适合用于清洁度至关重要的半导体制造应用。
技术规格
连接尺寸（英寸）：1/4"
连接 2 尺寸 (mm):不适用
连接 3 尺寸（英寸）：不适用
连接 4 尺寸（英寸）：不适用
连接 2 尺寸（英寸）：不适用
机身材质：镍（电抛光）
连接 4 样式：不适用
连接 3 样式：不适用
配置：保留凹槽样式
连接方式：不适用
总体长度：不适用
产品类别：金属垫片
连接 2 样式：不适用
选项：保留凹槽样式
产品类别：压盖、阀体、焊接组件、焊接模块、垫圈、螺母、盖、塞、
机身材质：压盖、阀体、螺母：316、316L、316L VAR、316L VIM/VAR 不锈钢垫片：镍、不锈钢、Kel-F 、Teflon
连接尺寸：高达 1 英寸；6 至 18 毫米
连接类型：管对焊、自动管对焊、承插焊、NPT、A-lok、直螺纹
工作温度：高达 1000 (537°C) °F
压力等级：高达 9,000 (620 bar) psi
项目信息
VacuSeal 金属垫片面密封接头具有极高的泄漏完整性，使其适用于需要超高纯度条件的关键应用，例如半导体工具连接、阀歧管盒 (VMB) 和气体分配系统。该配件采用配合垫圈和环形设计，形成金属对金属密封，并提供从真空到 9000 psig 的无泄漏服务。
VacuSeal 接头尺寸范围从 1/8 到 1 英寸，并提供各种阀体和压盖配置。它们由 Veriflo 专有的 Vericlean 低硫 316L 不锈钢在 100 级洁净室中制造。标准的 5 Ra 电抛光润湿表面光洁度可减少截留区域，同时提供出色的耐腐蚀性。压盖采用高纯度镍和 Hastelloy C-22 制成，以确保在极腐蚀性应用中的性能和可靠性。
VacuSeal 接头设计用于平面和 Verfilo 的 TorqTite 自对准面密封垫圈，无需工具进行安装，并消除了由于热循环和振动导致的组件松动。TorqTite 还可确保密封，即使是在损坏的环形线圈上，并允许施加极高的扭矩，而不会损坏密封表面。这与 VacuSeal 接头的超高纯度结构材料相结合，可最大限度地减少颗粒产生并确保在清洁度至关重要的晶圆制造操作中的泄漏完整性。
所有 VacuSeal 接头都经过氦气泄漏测试，以确保在苛刻的 UHP 应用中的性能和可靠性。
市场：
• 半导体
• 工具厂
• 分析实验室
• 制药
• 生物制药
• 航空航天
• 工业
应用：
• 腐蚀性气体和特种气体
• 半导体工厂气体分配系统
• 半导体工具
• 工具连接件
• 气体柜
• 阀歧管箱 (VMB)
特性/优点：
• 两个泄漏测试端口，便于泄漏测试
• 泄漏率：≤1 x 10-9 STD scc c He
• 5 Ra 内部电抛光表面光洁度
• 母螺母采用增强的电镀工艺镀银，适用于清洁、电抛光和钝化中使用的腐蚀性化学工艺
• 非旋转母螺母可防止在装配过程中传递扭矩，因此可最大限度地减少导致应力集中的部件扭曲。
• 防擦伤母螺母确保装配一致，无需电镀或润滑。
• 获得专利的 TorqTite 垫片最初接触内锥，径向挤出任何截留的污染物
• 压盖上的热代码提供原材料可追溯性
• 从系统中移除组件不需要轴向间隙
• 平滑过渡到内径可最大限度地减少截留区域
Hastelloy C-22 是 Haynes International, Inc. 的注册商标。