霍尼韦尔Midas 气体探测器，迈达斯为半导体加工和工业制造中的气体检测带来新的可见性、可靠性和易用性。
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霍尼韦尔Midas 气体探测器，迈达斯产品概述：
Midas 气体检测仪使用可靠的传感器技术来检测工厂中的许多关键有毒气体、环境气体和易燃气体。该设备可监控最远 100 英尺（30 米）外的点，同时使用专利技术调节流速并确保无差错气体检测。由于霍尼韦尔使用了先进的机器人技术，Midas 气体探测器提供了无与伦比的质量和可靠性：
提高了可视性和易用性。Midas 气体探测器配备明亮的 LED 灯和直观的交互式界面，可提供气体读数或警报级别的即时警报。该界面还包括用于配置、测试和校准的密码保护菜单。
简易安装。Midas 气体探测器体积小巧，带有易于操作的金属底盘，安装简单。这在空间非常宝贵的拥挤、复杂的过程环境中尤其重要。
众多应用。Midas 气体检测仪功能丰富且易于使用，适用于许多行业应用，包括半导体加工、轻工业制造、大学实验室、航空航天、废水处理等。
附加功能和优势：
超过 35 种气体可提供 2 年延长保修*
带有板载“电子校准”证书的智能传感器盒
3 个内置继电器（C 型），用于报警 1、2 和故障
以太网供电 (PoE) 通信
键盘界面和远程网络浏览器界面
可选的 Midas Pyrolyzer 模块，可连接到任何 Midas 气体探测器
受密码保护的菜单级别，以保持系统完整性
明亮的 LED 和直观的图标驱动、大型多色背光 LCD 显示屏
工厂校准的传感器可减少对频繁气体测试的需求
带故障和事件报告的隔离 0-22 mA 模拟输出
Modbus/TCP 以太网可轻松连接到所有控制和报警系统端口，以实现控制连接和服务交互
强大的抽取泵系统（2 年使用寿命）采样高达 100 英尺
CE 标志可完全抗射频干扰
Reflex 传感器健康检查以提高安全性
TempraSureTM 温度补偿技术（视情况而定）
事件记录以查看传感器历史记录
特点与优势：
无差错检测超过 35 种气体
提高可见性和易用性
简易安装
快速规格：
流速：500 毫升/分钟
运输时间：最长 2 到 30 秒
采样管线：0.125 in ID x 0.25 in OD
Gas Name Chemical Formula
Ammonia NH3
Arsine AsH3
Boron Trichloride BCl3
Boron Trifluoride BF3
Bromine Br2
Carbon Dioxide CO2
Carbon Monoxide CO
Chlorine Cl2
Chlorine Dioxide ClO2
Diborane B2H6
Dichlorosilane H2SiCl2
Difluoromethane* CH2F2
Disilane Si2H6
Fluorine F2
Germane GeH4
Hexafluorobutadiene* C4F6
Hydrogen (% LEL) H2
Hydrogen (ppm) H2
Hydrogen Bromide HBr
Hydrogen Chloride HCl
Hydrogen Cyanide HCN
Hydrogen Fluoride HF
Hydrogen Sulfide H2S
Methane (% LEL) CH4
Methyl Flouride* CH3F
Nitric Oxide NO
Nitrogen Dioxide NO2
Nitrogen Trifluoride* NF3
Octaflourocyclopentene* C5F8
Oxygen O2
Ozone O3
Phosphine PH3
Silane SiH4
Sulfur Dioxide SO2
Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS
Tungsten Hexafluoride WF6
氨 MIDAS-S-NH3 氨 10
氢化物MIDAS-S-ASH 砷化三氢 20
MIDAS-S-HYD 硼乙烷，锗烷 20
MIDAS-S-PH3 磷化氢 20
MIDAS-S-SHX 硅烷(20 ppm)，乙硅烷 20
MIDAS-S-SHL 硅烷 (2 ppm) 20
MIDAS-S-HSE 硒化氢 20
无机酸 (HF) MIDAS-S-HFX 氟化氢，三氟化硼，三氟化氮，六氟化钨 20
MIDAS-S-SF4 四氟化硫，三氟化氯 20
无机酸 (HCl) MIDAS-S-HCL
氯化氢，三氯化硼，二氯甲硅烷， 溴化
氢
20
MIDAS-S-POC 氯氧化磷 20
卤素MIDAS-S-HAL 氯，氟 10
MIDAS-S-BR2 溴，二氧化氯 20
二氧化碳 MIDAS-S-CO2 二氧化碳 20
一氧化碳 MIDAS-S-COX 一氧化碳 10
氢 MIDAS-S-H2X 氢 10
氰化氢MIDAS-S-HCN 氰化氢 10
硫化氢 MIDAS-S-H2S 硫化氢 10
一氧化氮MIDAS-S-NOX 一氧化氮 10
二氧化氮 MIDAS-S-NO2 二氧化氮 10
氧气 MIDAS-S-O2X 氧气 30
臭氧 MIDAS-S-O3X 臭氧 10
二氧化硫 MIDAS-S-SO2 二氧化硫 10
正硅酸乙酯 MIDAS-S-TEO 正硅酸乙酯 10
易燃物 MIDAS-S-LEL 氢，甲烷 30
MIDAS-S-NH3 氨 0-100 ppm 01 不适用
MIDAS-S-ASH 砷化三氢 0-0.2 ppm 02 不适用
MIDAS-S-HYD 硼乙烷 0-0.4 ppm 03 1
锗烷 0-0.8 ppm 03 2
MIDAS-S-PH3 磷化氢 0-1.2 ppm 04 不适用
MIDAS-S-SHX 硅烷(20) 0-20 ppm 05 1
乙硅烷 0-20 ppm 05 2
MIDAS-S-SHL 硅烷(2) 0-2 ppm 06 不适用
MIDAS-S-HSE 硒化氢 0-0.4 ppm 07 不适用
氟化氢 0-12 ppm 08 1
三氟化硼 0-8 ppm 08 2
三氟化氮 0-40 ppm 08 3
MIDAS-S-HFX
六福化钨 0-12 ppm 08 4
MIDAS-S-SF4 四氟化硫 0-0.8 ppm 09 1
三氟化氯 0-0.8 ppm 09 2
氯化氢 0-8 ppm 10 1
三氯化硼 0-8 ppm 10 2
二氯甲硅烷 0-8 ppm 10 3
MIDAS-S-HCL
溴化氢 0-8 ppm 10 4
MIDAS-S-POC 氯氧化磷 0-0.8 ppm 11 不适用
MIDAS-S-HAL 氯 0-2 ppm 12 1
氟 0-4 ppm 12 2
MIDAS-S-BR2 溴 0-0.4 ppm 13 1
二氧化氯 0-0.4 ppm 13 2
MIDAS-S-CO2 二氧化碳 0-2% Vol 14 不适用
MIDAS-S-COX 一氧化碳 0-100ppm 15 不适用
MIDAS-S-H2X 氢 0-1000 ppm 16 不适用
MIDAS-S-HCN 氰化氢 0-20 ppm 17 不适用
MIDAS-S-H2S 硫化氢 0-40 ppm 18 不适用
MIDAS-S-NOX 一氧化氮 0-100 ppm 19 不适用
MIDAS-S-NO2 二氧化氮 0-12 ppm 20 不适用
MIDAS-S-O2X 氧气 0-25% Vol 21 不适用
MIDAS-S-O3X 臭氧 0-0.4 ppm 22 不适用
MIDAS-S-SO2 二氧化硫 0-8 ppm 23 不适用
MIDAS-S-TEO 正硅酸乙酯 0-40 ppm 24 不适用
MIDAS-S-LEL 氢 0-100% LEL1 25 1
甲烷 0-100% LEL1 25 2
描述 范围 零部件编号
氨 0-100 ppm MIDAS-S-NH3
砷化三氢 0-0.2 ppm MIDAS-S-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-S-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-S-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-S-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-S-HAL
锗烷 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD
氢* 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X
氢 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
溴化氢 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氯化氢 0-8 ppm MIDAS-S-HCL
氰化氢 0-20 ppm MIDAS-S-HCN
氟化氢 0-1 2 ppm MIDAS-S-HFX
硒化氢 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE
硫化氢 0-40 ppm MIDAS-S-H2S
甲烷 0-100% LEL 1 MIDAS-S-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-S-NOX
二氧化氮 0-1 2 ppm MIDAS-S-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-S-HFX
氧气 0-25% v MIDAS-S-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X
磷化氢 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-S-SHX
硅烷，低级别 0-2 ppm MIDAS-S-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-S-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-S-TEO
六氟化钨 0-12 ppm MIDAS-S-HFX
1 MIDAS
氨 0-100 ppm MIDAS-E-NH3
砷化三氢 0-0.2 ppm MIDAS-E-ASH
三氯化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
三氟化硼 0-8 ppm MIDAS-E-HFX
溴 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
氯 0-2 ppm MIDAS-E-HAL
二氧化氯 0-0.4 ppm MIDAS-E-BR2
三氟化氯 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
二氧化碳 0-2.0% vol MIDAS-E-CO2
一氧化碳 0-100 ppm MIDAS-E-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm MIDAS-E-HYD
二氯甲硅烷 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
乙硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
氟 0-4 ppm MIDAS-E-HAL
锗烷 0-0.8 ppm MIDAS-E-HYD
氢 0-1000 ppm MIDAS-E-H2X
氢 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
溴化氢 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氯化氢 0-8 ppm MIDAS-E-HCL
氰化氢 0-20 ppm MIDAS-E-HCN
氟化氢 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
硒化氢 0-0.4 ppm MIDAS-E-HSE
硫化氢 0-40 ppm MIDAS-E-H2S
甲烷 0-100% LEL1 MIDAS-E-LEL
一氧化氮 0-100 ppm MIDAS-E-NOX
二氧化氮 0-12 ppm MIDAS-E-NO2
三氟化氮 0-40 ppm MIDAS-E-HFX
氧气 0-25% v MIDAS-E-O2X
臭氧 0-0.4 ppm MIDAS-E-O3X
磷化氢 0-1.2 ppm MIDAS-E-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm MIDAS-E-POC
硅烷 0-20 ppm MIDAS-E-SHX
硅烷 低级别 0-2 ppm MIDAS-E-SHL
二氧化硫 0-8 ppm MIDAS-E-SO2
四氟化硫 0-0.8 ppm MIDAS-E-SF4
TEOS 四乙基原硅酸酯 0-40 ppm MIDAS-E-TEO
六氟化钨 0-12 ppm MIDAS-E-HFX
完整的探测器套件和探测器盒的描述 套件部件编号
氨0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NH3
砷化三氢0-0.2 ppm 套件 MIDAS-K-ASH
三氯化硼 0-8 ppm，二氯甲硅烷 0-8 ppm，溴化氢 0-8 ppm，
氯化氢 0-8 ppm
MIDAS-K-HCL
三氟化硼 0-8 ppm，氟化氢 0-12 ppm，三氟化氮 4-40 ppm，
以及六氟化钨 0-12 ppm 套件
MIDAS-K-HFX
溴 0-0.4 ppm 与二氧化氯 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-BR2
氯 0-2 ppm 与氟 0-4 ppm 套件 MIDAS-K-HAL
二氧化碳 0-2.0% v 套件 MIDAS-K-CO2
一氧化碳 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-COX
硼乙烷 0-0.4 ppm 与锗烷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-HYD
氢 0-1000 ppm 套件 MIDAS-K-H2X
氢 0-100% LEL 与甲烷 0-100% LEL 套件1 MIDAS-K-LEL
氰化氢 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-HCN
硒化氢 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-HSE
硫化氢 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-H2S
一氧化氮 0-100 ppm 套件 MIDAS-K-NOX
二氧化氮 0-12 ppm 套件 MIDAS-K-NO2
氧气 0-25% v 套件 MIDAS-K-O2X
臭氧 0-0.4 ppm 套件 MIDAS-K-O3X
磷化氢 0-1.2 ppm 套件 MIDAS-K-PH3
氯氧化磷 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-POC
硅烷 0-20 ppm 与 乙硅烷 0-20 ppm 套件 MIDAS-K-SHX
硅烷 低级别 0-2 ppm 套件 MIDAS-K-SHL
四氟化硫0-0.8 ppm 与三氟化氯 0-0.8 ppm 套件 MIDAS-K-SF4
二氧化硫 0-8 ppm 套件 MIDAS-K-SO2
TEOS 0-40 ppm 套件 MIDAS-K-TEO
1 MIDAS 探测器并未经过ETL 批准而用于在高于25% LEL 的分类区域进行监测或取样。
16.7 附件及备件
描述 零部件编号
取样线路管系管道适配器1283K1090
NF3 热解模块的加热器元件 MIDAS-A-006
MIDAS 气体探测器的替换泵总成 MIDAS-A-007
MIDAS气体探测器的替换内部空气过滤器MIDAS-A-009
RJ45 限制夹板替换 MIDAS-A-010
PoE 以太网注入器 MIDAS-A-011
PoE 24 点以太网Hub MIDAS-A-012
虚拟传感器(与模拟模块配套使用) MIDAS-A-013
用于CO 应用的IPA 洗涤器套件 1283K2220
IPA 过滤器替换 1830-0080
NF3 热解气体探测器的氟里昂过滤器 1830-0027
软管 21" – 长度 0235-0128
软管27" – 长度 0235-0163
软管36" – 长度 0310-2055
MIDAS气体探测器的操作说明和快速启动指南– 英语MIDAS-A-001
线端微粒过滤器 0780248
气体名称 化学式 范围 传感器盒部件编
号
校准气体 推荐的颠簸测试气
体
氨 NH3 0-100 ppm MIDAS-S-NH3 氨 氨
砷化三氢 AsH3 0-0.2 ppm MI DAS-S-ASH 砷化三氢 磷化氢
三氯化硼 BCl3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
三氟化硼 BF3 0-8.0 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
溴 Br2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
二氧化碳 CO2 0-2.0% vol MIDAS-S-CO2 二氧化碳 二氧化碳
一氧化碳 CO 0-100 ppm MIDAS-S-COX 一氧化碳 一氧化碳
氯 Cl2 0-2.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
二氧化氯 ClO2 0-0.4 ppm MIDAS-S-BR2 氯 氯
三氟化氯 ClF3 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氢 氯
硼乙烷 B2 0-0.4 ppm MIDAS-S-HYD 硼乙烷 磷化氢
二氯甲硅烷 H2SiCl2 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
乙硅烷 Si2H6 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氢
氟 F2 0-4.0 ppm MI DAS-S-HAL 氯 氯
锗烷 GeH4 0-0.8 ppm MIDAS-S-HYD Diborane Phosphine
氢 (% LEL) H2 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氢 氢
氢(ppm) H2 0-1000 ppm MIDAS-S-H2X 氢 氢
溴化氢 HBr 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
氯化氢 HCl 0-8.0 ppm MIDAS-S-HCL 氯化氢 氯
氰化氢 HCN 0-20 ppm MIDAS-S-HCN 氰化氢 一氧化碳
氟化氢 HF 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
硒化氢 H2Se 0-0.4 ppm MIDAS-S-HSE 硅烷 硫化氢
硫化氢 H2S 0-40 ppm MIDAS-S-H2S 硫化氢 硫化氢
甲烷(% LEL) CH4 0-100% LEL1 MIDAS-S-LEL 氢 氢
二氧化氮 NO2 0-12 ppm MIDAS-S-NO2 二氧化氮 二氧化氮
一氧化氮 NO 0-100 ppm MIDAS-S-NOX 一氧化氮 一氧化氮
三氟化氮 NF3 0-40 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
氧气重组&不足 O2 0-25% vol MIDAS-S-O2X 氧气 空气
臭氧 O3 0-0.4 ppm MIDAS-S-O3X 臭氧 氯气
磷化氢 PH3 0-1.2 ppm MIDAS-S-PH3 磷化氢 磷化氢
氯氧化磷 POCl3 0-0.8 ppm MIDAS-S-POC 氯化氢 氯
硅烷 SiH4 0-20 ppm MIDAS-S-SHX 硅烷 硫化氢
硅烷(低级别) SiH4 0-2.0 ppm MIDAS-S-SHL 硅烷 硫化氢
二氧化硫 SO2 0-8.0 ppm MIDAS-S-SO2 二氧化硫 二氧化硫
四氟化硫 SF4 0-0.8 ppm MIDAS-S-SF4 氟化氢 氯
正硅酸乙酯 TEOS 0-40 ppm MIDAS-S-TEO TEOS 一氧化碳
六氟化钨 WF6 0-12 ppm MIDAS-S-HFX 氟化氢 氯
目标气体 化学式 传感器盒部件编号 范围 (ppm) 推荐颠簸测试气体浓度
(ppm)
流率
(cc/min)
最大时间
氨 NH3 MIDAS-S-NH3 100 氨 50 500 120
砷化三氢 AsH3 MIDAS-S-ASH 0.2 磷化氢 0.5 500 120
三氯化硼 BCl3 MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
三氟化硼 BF3 MIDAS-S-HFX 8 氯 5 500 120
溴 Br2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
二氧化碳 CO2 MIDAS-S-CO2 2% v 二氧化碳 2% v 500 120
一氧化碳 CO MIDAS-S-COX 100 一氧化碳 100 500 120
氯 Cl2 MIDAS-S-HAL 2 氯 2 500 120
二氧化氯 ClO2 MIDAS-S-BR2 0.4 氯 低 500 120
三氟化氯 ClF3 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 低 500 120
硼乙烷 B2H6 MIDAS-S-HYD 0.4 磷化氢 0.5 500 120
二氯甲硅烷 SH2Cl2 MIDAS-S-HCl 10 氯 5 500 120
乙硅烷 Si2 MIDAS-S-SHX 20 硫化氢 < 25 500 120
氟 F2 MIDAS-S-HAL 4 氯 5 500 120
锗烷 GeH4 MIDAS-S-HYD 0.8 磷化氢 0.5 500 120
氢 H2(ppm) MIDAS-S-H2X 1,000 氢 1000 500 120
氢 H2(%LEL) MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
目标气体 化学式 传感器盒部件编
号
范围 (ppm) 推荐颠簸测试气体浓度 (ppm) 流率
(cc/min)
最大时间
溴化氢 HBr MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氯化氢 HCl MIDAS-S-HCl 8 氯 5 500 120
氰化氢 HCN MIDAS-S-HCN 20 二氧化硫 15 500 120
氟化氢 HF MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120
硒化氢 H2Se MIDAS-S-HSE 0.4 硫化氢 低 500 120
硫化氢 H2S MIDAS-S-H2S 40 硫化氢 25 500 120
甲烷 CH4 MIDAS-S-LEL 100% LEL 甲烷 500 120
一氧化氮 NO MIDAS-S-NOX 100 一氧化氮 50 500 120
二氧化氮 NO2 MIDAS-S-NO2 12 二氧化氮 10 500 120
三氟化氮 NF3 MIDAS-S-HFX 40 氯 5 500 120
氧气 O2 MIDAS-S-O2X 25% v 空气 500 120
臭氧 O3 MIDAS-S-O3X 0.4 氯 低 500 120
磷化氢 PH3 MIDAS-S-PH3 1 磷化氢 0.5 500 120
氯氧化磷 POCl3 MIDAS-S-POC 0.8 氯 低 500 120
硅烷 SiH4 MIADS-S-SHX 2 硫化氢 < 25 500 120
硅烷 SiH4 MIDAS-S-SHL 20 硫化氢 < 25 500 120
二氧化硫 SO2 MIDAS-S-SO2 8 二氧化硫 8 500 120
四氟化硫 SF4 MIDAS-S-SF4 0.8 氯 Low 500 120
TEOS TEOS MIDAS-S-TEO 40 一氧化碳 100 500 120
六氟化钨 WF6 MIDAS-S-HFX 12 氯 5 500 120