Entegris中国技术中心落户上海张江，扩大在华服务规模

Entegris中国技术中心的落成运营进一步提升了公司的在华技术能力，其四大实验室所提供的专业技能是打造半导体制造生态圈的关键环节。

文 | 方雯

图 | Entegris

根据半导体协会提供的数据，未来10到20年，中国将成为半导体材料增长快的地区，这也为半导体生产方面带来了很大的投资机遇与进展。

11月13日

，Entegris中国技术中心在上海张江举行了庆典活动，该技术中心配备了四大实验室：微污染控制应用实验室、先进材料处理应用实验室、表面处理和集成应用（SPI）实验室、分析和计量实验室，可解决半导体制造生态系统中客户面临的各种问题，并提供广泛的分析和技术支持。

据Entegris执行副总裁及首席运营官Todd Edlund介绍，Entegris主要有三个业务板块：第一个业务板块是特种化学品和工程材料，主要是跟与沉积以及清洁业务有关，气体生产也是这个业务板块中重要的一部分；第二个业务板块是微污染控制，微污染控制主要是生产应用于液体和气体的净化器和过滤器；第三个业务板块是先进材料的处理，包括晶片等。

在2018年，Entegris的营业额已达到16亿美金，其中8%投入了研发，大约有80%的营收来自于半导体行业相关，20%是半导体以外的领域，例如数据存储、平板显示等，不过Todd Edlund表示这个比率是在持续变化中的。

近日，Entegris完成了在对杭州安诺的收购，这是Entegris在中国市场大的一笔收购，员工团队已增长至接近5000人。收购安诺提升了Entegris在过滤器生产方面的能力，使其可在微电子、生物医疗、环保废处理领域提供更高品质的服务。此外，Entegris与湖北晶星、博纯材料在TEOS、气体领域也一直保持着紧密的合作关系。

对于半导体材料来说，污染与缺陷的控制一直是备受关注的领域。

在媒体会上，Todd Edlund提到：“随着28纳米工艺降到今天的7纳米，我们对材料中的金属杂质的容忍度已经下降了1000倍，其中对于晶圆杀手颗粒的尺寸也缩小了将近4倍，这也给Entegris带来了巨大的机会。”

Entegris中国总经理张凯翔先生表示，Entegris在材料供应上的专长就是生产洁净的产品。半导体生产中最怕的就是一些污染源，无论是颗粒污染还是金属污染，所以原物料供应商产品的洁净度很重要。

Entegris又是如何有效控制污染与缺陷，改善产品良率？

根据Entegris中国技术中心技术总监江平女士的分享，Entegris中国技术中心所配备的四个实验室可提供一系列本地化的综合性服务。

微污染控制应用实验室主要是检测过滤器的性能，诊断在过滤器应用中，客户端在生产过程可能出现的问题或者潜在风险。先进材料处理应用实验室位于无尘等级1000的洁净室里，它可以提供包括光阻泵、管阀件以及传感器等各种流体输送材料的洁净度和功能的检测。表面处理和集成应用实验室主要用于先进制程中晶圆的清洗产品应用和功能测试。分析和计量实验室则是主要服务于以上三个应用的实验室，它配备了业界先进的量测设备，着重于高纯化学品先进材料和各种过滤膜的理化性能的分析表征，以协助客户在实际生产过程中有效地控制污染，改善良率。