美国英特格ENTEGRIS在线气体过滤器WGFG21KP0
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器
幻灯片细节。
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 µm 的颗粒
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA)
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外壳： 粉煤灰
推荐流量 30 升/分钟
连接 1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的颗粒尺寸下验证）
运行条件 最大工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向压差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作温度： 50°C (122°F)
方面 长度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件装过滤器
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件装过滤器
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件装过滤器